什么是FAB无尘室

FAB无尘室是芯片生产加工的净化车间的一般称呼。tsmc、中芯国际的生产线都叫fab。净化车间不一样等级气体洁净度等级的空气过滤网的采用、布局关键点：针对300000级空气过滤解决，可选用亚高效送风口替代高效送风口；气体洁净度等级100级、10000级及100000级的空气过滤解决，应选用初、中、高效送风口三级过滤装置。

FAB半导体材料芯片无尘室工作环境的规定：因为电子设备在生产制造、生产过程中对室内空气质量自然环境和质量的规定极其严苛，关键以操纵粒子和尘土为关键目标，与此同时还对其自然环境的温度湿度、清新空气量、噪音等做出了严苛的要求。1、房间内的噪音级（空态）：不可超过65dB(A)。2、竖直流净化室布满比不可低于60%，水准单边流净化室不可低于40%，不然便是部分单边流了。3、与户外的负压差不可低于10Pa，不一样气体洁净度等级的洁净区和非洁净区中间的负压差不可低于5Pa。4、清洁房间内的清新空气量应选以下二项中的最高值：5、赔偿房间内风量和维持房间内正压力值所需的清新空气量之和。6、保证供给清洁房间内每个人每钟头的清新空气量不小于40m3。7、空调净化系统软件电加热器，应设定新风系统，过热关闭电源维护，若选用点增湿时要设定没有水维护，严寒地域，家用新风系统应设定防寒保障措施。无尘室的送排风量。

半导体材料（FAB）净化室中空气湿度的目标大概操纵在30至50%的范畴内，容许偏差在±1%的狭小的范畴内，比如光刻技术区──或是在远紫外光解决（DUV）区乃至更小──而在别的地区则能够释放压力到±5%的范畴内。